濕電子化學(xué)品是指在集成電路、液晶顯示器、太陽(yáng)能電池、LED制造工藝中被大量使用的液體化學(xué)品。隨著集成電路制作要求的提高,對(duì)工藝中所需的濕電子化學(xué)品純度的要求也不斷提高。從趨勢(shì)上看,滿足納米級(jí)集成電路加工需求是超凈高純?cè)噭┙窈蟀l(fā)展方向之一。
在濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中,氟樹脂主要用于四大領(lǐng)域:
——濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中鋼襯PFA/PTFE設(shè)備
鋼襯PFA/PTFE設(shè)備分為塔器、罐體、管道和泵閥等,其特點(diǎn)在于不光是鋼制容器強(qiáng)度高,而且在強(qiáng)腐蝕介質(zhì)的工況下仍能保證-80℃~200℃的溫度區(qū)間應(yīng)用。致密的PFA/PTFE層保證其適用大部分電子化學(xué)品生產(chǎn)工況。
鋼襯PFA/PTFE容器可分為模壓、板襯、噴涂等工藝,視不同工況可以選擇不同的內(nèi)襯工藝,成品使用需通過標(biāo)準(zhǔn)離子浸出實(shí)驗(yàn);電子化學(xué)品生產(chǎn)成品包裝、儲(chǔ)存、運(yùn)輸一般采用更嚴(yán)格的超純PFA襯里設(shè)備。目前PFA樹脂主要生產(chǎn)廠家為科慕(杜邦)、大金、旭硝子等國(guó)外廠商。PTFE樹脂國(guó)內(nèi)廠商有東岳、巨化等,并且開始有少量試生產(chǎn)PFA樹脂。
——濕電子化學(xué)品精餾用PFA/PTFE分離填料
PFA/PTFE分離填料具有通量大、效率高等特點(diǎn),常用于超純物系的吸收和精餾。該系列規(guī)整填料通過浙江工業(yè)大學(xué)化學(xué)工程研究所的測(cè)試,其分離效率在中等噴淋密度時(shí)與同樣比表面積的金屬規(guī)整填料相比低7.8%;在模擬計(jì)算和實(shí)際設(shè)計(jì)的時(shí)候,精餾塔比相類似的金屬塔要略高;PFA/PTFE鮑爾環(huán)和拉西環(huán)等散堆填料,在吸收時(shí)用的比較多,例如用于SO3吸收制超純硫酸工藝。
——濕電子化學(xué)品精餾提純用主要內(nèi)構(gòu)件
PFA/PTFE管式、槽盤式分布器、復(fù)合支撐和除霧器等,這些內(nèi)構(gòu)件對(duì)汽液平衡、汽液均勻分布具有不可或缺的作用,特別是除沫器和除霧器的應(yīng)用對(duì)霧沫夾帶和微小液滴(3μm以下)起著重要作用。3μm以下的需要采用纖維除霧器去除。這也是精餾提純電子化學(xué)品的關(guān)鍵步驟之一。
——濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中的熱交換設(shè)備
列管式PFA/PTFE換熱器較強(qiáng)的耐蝕防老化性能和超潔凈性能,使其應(yīng)用于化工、酸洗、電鍍、醫(yī)藥和電子化學(xué)品等行業(yè)。由于其耐溫性能較佳(-80℃~180℃),既適用于普通換熱及冷卻,亦適用于蒸汽加熱。
隨著氟塑原材料生產(chǎn)技術(shù)和管材加工技術(shù)的提高,目前四氟管管壁厚度達(dá)到0.3~1.0mm,加之無垢下熱阻,在液液、汽液傳熱中總傳熱系數(shù)比較高,總傳熱系數(shù)約200~300W/m2 ℃。與金屬列管式換熱器相比較,因采用毛細(xì)管,單位體積換熱面積大約1.5倍,換熱效率與同體積的金屬換熱器相當(dāng)。